Soluzione di tetra dimetilammino titanio

Tetra (dimetilammino) titanio è un composto chimico con la formula Ti (NME2) 4. È un complesso di coordinamento del titanio con quattro ligandi dimetilammino. Questo composto è comunemente usato come precursore per la deposizione di film sottili contenenti titanio in varie applicazioni, tra cui dispositivi a semiconduttore e celle solari.

Nel contesto della deposizione di film sottile, il titanio Tetra (dimetilammino) può essere usato nei processi di deposizione di vapore chimica (CVD) o deposizione di strati atomici (ALD). Nel CVD, il composto viene vaporizzato e quindi reagisce con un gas precursore adatto per formare un film solido su un substrato. In ALD, il composto viene reagito in sequenza con altri precursori in modo auto-limitante per formare un film sottile con un controllo preciso sul suo spessore e composizione.

Nel complesso, il titanio di tetra (dimetilammino) è un composto importante nel campo della scienza dei materiali ed è ampiamente utilizzato nella fabbricazione di film sottili per vari dispositivi elettronici e optoelettronici.